摘要：一种基于物料供应系统模型的流量控制方法，该方法具体包括：根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型；其中，物料供应系统包括流量控制机构和被控反应腔室，其中，被控反应腔室有压力计监控压力；定义偏差并引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取物料供应系统系统状态反馈控制律；通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数；根据被控反应腔室端的压力状态作为检测信号，以及反馈控制律参数，对被控反应腔室进行同步调节流量控制机构，实现了物料流量的优化控制及反应腔室的压力稳定。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人刘建涛;钟结实;王春洪;徐冬;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410307167.2
- 申请时间2014年06月30日
- 申请公布号CN104073785A
- 申请公布时间2014年10月01日
- 分类号C23C16/52(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;
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