摘要：本发明公开了一种高速数字扫描直写光刻装置，包括光源，光学照明系统，可编程图形发生器，投影光学系统，高速精密移动平台等五部分。曝光光束从光源发出，进入光学照明系统，准直成平行均匀的面光源投影至可编程图形发生器，而此时可编程图形发生器上的图形信息伴随光线进入投影光学系统，曝光光线穿过投影光学系统，最后投影成像在高速精密移动平台的基底上。本发明可以省去掩膜版或菲林版的加工工序，并能数十倍的提升可编辑图形发生器的刷新频率，从而提高产品的加工速率，改善了产品加工的良率。制作工艺简单，降低了产品的生产成本。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州微影光电科技有限公司;
- 发明人李平贵;张国龙;马迪;
- 地址215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司
- 申请号CN201410190903.0
- 申请时间2014年05月08日
- 申请公布号CN104007620B
- 申请公布时间2016年04月06日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
