摘要：本发明公开了一种测量激光光束质量的装置、方法及光路准直方法，解决了现有激光光束质量测量系统放置激光器后需要花费大量时间进行手动准直的问题。本发明包括激光器，第一衰减片，第二衰减片，全反射棱镜，反射镜，图像采集模块，光束传输距离调节模块，光束传输角度调节模块，数据处理模块。本发明通过光束传输距离调节模块和数据处理模块测量出不同光束传输距离下的光斑中心位置计算出光束偏离角度，从而通过光束传输角度调节模块对激光光束传输方向进行调整，达到使激光光束能够垂直入射到图像采集模块的目的，实现自动准直的功能。因为采用了自动准直，相较人工准直，这样也提高了测量精度。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人赵茗;柯义;杨振宇;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201410218459.9
- 申请时间2014年05月22日
- 申请公布号CN104006892B
- 申请公布时间2016年08月17日
- 分类号G01J11/00(2006.01)I;G02B27/30(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
