摘要：本发明公开了一种半导体取放设备耐久性的检测方法，包括取放设备执行硅片盒以及硅片的取放动作，检测系统的控制单元驱动数据采集单元采集第一伸缩传感器、第一旋转传感器、第二伸缩传感器、第二旋转传感器、第一位置传感器以及第二位置传感器中部分或所有的检测数据；控制单元驱动数据采集单元将检测数据发送给数据分析单元；数据分析单元通过各取放动作的检测数据，对取放设备的耐久性进行分析。本发明可以实现半导体取放设备中选定或所有相关运动机构或模块在一次耐久性检测中全部参与进行测试，省时省力，也提高了检测的精确性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人贾轶群;刘建涛;钟结实;张立超;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410200310.8
- 申请时间2014年05月13日
- 申请公布号CN103983468B
- 申请公布时间2016年06月29日
- 分类号G01M99/00(2011.01)I;
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京公网安备11010802043465号
