摘要:本发明公开了一种快充气型微正压保护系统,包括:经依次顺序连接的第一开关阀2、第一减压阀3和第二减压阀4分为两条支路,其中,一条支路经第一流量计5与毛细管6一端相连,另一支路经第二流量计7与第二开关阀8一端相连,毛细管6另一端和第二开关阀8另一端接过滤器9的一端,过滤器9另一端与目标腔体10一端相连,目标腔体10另一端与节流部件14相连,其中,所述目标腔体10为密封腔体,其内壁上布置有测量腔内压力的压力传感器11、用于测量腔内气体纯度的成分检测仪12、以及过压保护阀13。本发明实现了微正压保护系统初始化过程的快速充气功能,缩短了系统的初始化时间,同时还保证目标腔体在工作过程中的微正压稳定。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人李小平;雷敏;冯加云;方宇翔;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201410204253.0
- 申请时间2014年05月15日
- 申请公布号CN103970159B
- 申请公布时间2016年06月01日
- 分类号G05D16/20(2006.01)I;H01S3/036(2006.01)I;