摘要：本发明涉及一种真空换料水平直线蒸镀源，该蒸镀源采用水平直线下喷式蒸镀，蒸镀宽度300mm。适用于升华温度低于2500C的非金属元素的蒸镀。本发明具有体积小、结构简单、制作成本低可在线连续补给或更换原料、原料加热多点可控等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人蔡勇;金晨;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201310045492.1
- 申请时间2013年02月03日
- 申请公布号CN103966552A
- 申请公布时间2014年08月06日
- 分类号C23C14/24(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
