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    一种平面度测试方法及其装置

      摘要:本发明公开了一种平面度测试方法及其装置,包括步骤:S1,获取待测产品表面的高度信息;S2,对获取得到的信息进行解析,得到X、Y、Z坐标值;S3,数据采样,将产品表面相邻区域的N*N个点合并为一个点,该点的值取该区域的平均值;S4,平面拟合,通过最小二乘法计算得到系数a、b和c,从而得到待测产品表面所在的平面;S5,将产品平面分布的点分为两类,一类位于产品表面上侧,一类位于产品表面下侧,并得到产品表面上侧和下侧之间的最大距离值,该值即可产品的平面度。本发明测试得到的平面度精度高,测试效率高。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人广东正业科技股份有限公司;
    • 发明人敖荟兰;许德平;黄美旭;张也;胡军军;徐地华;梅领亮;
    • 地址523000 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路2号
    • 申请号CN201410137894.9
    • 申请时间2014年04月08日
    • 申请公布号CN103940380A
    • 申请公布时间2014年07月23日
    • 分类号G01B11/30(2006.01)I;G06K7/00(2006.01)I;G06F19/00(2011.01)I;