摘要：一种对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备。所述方法包括：获取至少一个真空规管测得的腔体的真空度及真空规管内部识别电阻的端电压；根据真空规管内部识别电阻的端电压及真空规管测得的真空度确定该真空规管所测量的腔体的类型；根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作。根据本发明，能够实时测量主要器件所在腔体的真空度并根据测量的腔体的真空度控制质谱仪动作以保护质谱仪的关键器件。
- 专利类型发明专利
- 申请人钢研纳克检测技术有限公司;
- 发明人李明;李凯;王超刚;梁斌;何小意;唐兴斌;姚君;吕海马;
- 地址100081 北京市海淀区高粱桥斜街13号
- 申请号CN201410128779.5
- 申请时间2014年04月01日
- 申请公布号CN103884466B
- 申请公布时间2016年03月02日
- 分类号G01L21/00(2006.01)I;G05B19/04(2006.01)I;
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