摘要：本发明公开了一种激光快速分离光学晶体方法，该方法先利用超快激光或微型金刚石砂轮对光学晶体进行分离方向设置，在分离开始端形成一条方向沿待分离路径的预制微裂纹；再利用聚焦激光对预制微裂纹进行扫描加热，形成激光诱导微裂缝；沿着待分离路径快速移动聚焦激光，直至激光移动速度与裂缝扩展速度相同，使聚焦激光始终跟随着微裂缝最前端，并使微裂缝两侧材料发生热膨胀效应，在微裂缝尖端产生前向挤压和侧向拉应力，将晶体材料拉开，最终实现晶体高质量分离。装置包括微裂纹预制机构、单焦点激光加工系统和二维工作台。本发明可提高光学晶体分离的速度、精度、加工安全性及质量，以实现光学晶体的无损耗分离和准抛光级光洁度分离表面。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人段军;邓磊敏;曾晓雁;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201410071645.4
- 申请时间2014年02月28日
- 申请公布号CN103831527B
- 申请公布时间2016年01月20日
- 分类号B23K26/00(2014.01)I;
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