摘要：本发明涉及一种晶圆位置调节装置，包括：一电动机，用于提供动能；一电机驱动器，用于驱动电动机；一控制单元，用于控制电机驱动器的工作状态，工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭；传动机构，用于传动电动机提供的动能至第一运动单元和第二运动单元，第一运动单元调节经过第一流水线的晶圆的位置，第二运动单元调节经过第二流水线的晶圆的位置。其结构简单、实施技术成熟；在调试中，仅调试单个控制单元、单个电机驱动器和单台电机即可，调试方便、高效。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张航;王凯;慕晓航;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410076562.4
- 申请时间2014年03月04日
- 申请公布号CN103811391B
- 申请公布时间2016年08月17日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
