摘要：本发明公开了一种半导体运动传输模块的异常处理方法，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，所述异常处理方法包括捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；以及依据触发信号选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。本发明还提供了一种异常处理系统，提高了对于作业期间异常情况的捕捉和处理效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人魏靖南;黄扬君;贾轶群;钟结实;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410058365.X
- 申请时间2014年02月20日
- 申请公布号CN103794536B
- 申请公布时间2017年01月25日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;G06F11/07(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
