摘要：一种半导体热处理设备超温与断偶报警的处理装置及方法，该方法包括：温度监控表根据采集每个温区热电偶采集的温度信息，产生超温热偶的温信号和/或断偶信号：当温度监控表的一个输出端有某一段或多段温区的超温报警信号产生，该温区对应的温控表超温报警延时继电器开始计时，同时如果温度监控表的另一输出端在延时时间周期中，没有断偶信号输出，则使炉体加热继电器得电其常闭触点断开，从而控制加热使能继电器失电而断掉加热，并向PLC发出超温报警信号；若延时时间周期中有断偶信号输出，则断偶报警继电器的常闭触点断开，温控表超温报警延时继电器计时复位，并向PLC发出断偶报警。因此，本发明通过硬件电路的方式对超温报警断加热，而非通过上位机软件或PLC程序处理，提高了设备的可靠性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王凯;慕晓航;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410072702.0
- 申请时间2014年02月28日
- 申请公布号CN103792972A
- 申请公布时间2014年05月14日
- 分类号G05D23/22(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
