摘要：本发明提供了一种斜角入射沉积系统，包括圆柱状的腔体，腔体的上方设有顶盖，腔体内由下至上依次设有电子束蒸发器、环形液态氮存储装置以及样品操作装置；所述电子束蒸发器由腔体外伸入腔体内，电子束蒸发器位于腔体内的端部上设置蒸发源材料；所述环形液态氮存储装置用于冷却操作装置，环形液态氮存储装置上设有液氮进管和液氮出管，液氮进管和液氮出管分别延伸出顶盖；环形液态氮存储装置中部设有气动快门，用于控制蒸发源材料与样品操作装置之间的通路。本发明两个轴向旋转运动以及沉积高度的调整，形成不同沉积角度，得到了多种形态的微纳米薄膜结构，很好解决了光学和电子刻蚀形成微纳米薄膜费用高、适用材料有限、制作时间较长的缺点。
- 专利类型发明专利
- 申请人南京工业大学;
- 发明人殷晨波;唐光大;徐海涵;杨柳;吴礼峰;
- 地址210009 江苏省南京市中山北路200号41号信箱
- 申请号CN201410015993.X
- 申请时间2014年01月14日
- 申请公布号CN103789743A
- 申请公布时间2014年05月14日
- 分类号C23C14/54(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;
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