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    半导体工艺的指令执行的控制方法及控制装置

      摘要:本发明公开了一种指令执行的控制方法,包括对每一个指令创建对应的指令对象和对应的状态对象,其中指令对象中存储其对应指令的指令信息,状态对象中存储其对应指令的状态信息,状态信息包括指令完成条件及指令执行状态;接收所述上位机发出的指令;根据该指令对应的指令对象中所存储的指令信息控制半导体设备执行该指令,并在该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件满足时更新该状态对象中的指令执行状态;当指令执行状态更新时,将更新的指令执行状态输出至上位机。本发明可实现多个指令的多线程执行以及执行状态的反馈。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
    • 发明人黄扬君;魏靖南;贾轶群;刘建涛;
    • 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
    • 申请号CN201410058368.3
    • 申请时间2014年02月20日
    • 申请公布号CN103777618B
    • 申请公布时间2017年02月01日
    • 分类号G05B19/418(2006.01)I;