摘要：本发明公开了一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜方法。它由激光器出射的细光束经准直扩束系统后被扩束为平行宽光束，平行光入射至镀有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面参考镜反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前传播入射至辅助对准平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板处相遇发生干涉，形成干涉图，经成像系统后成像于探测器处；调节对准平板与部分补偿透镜相对于入射光的倾斜度，使探测器得到零条纹干涉图，移去对准平板，实现部分补偿透镜的倾斜对准。本发明解决了非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准误差问题，减少了其误对准对检测结果引入的调整误差。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人杨甬英;田超;张磊;韦涛;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 申请号CN201410010751.1
- 申请时间2012年03月02日
- 申请公布号CN103776388B
- 申请公布时间2016年06月01日
- 分类号G01B11/24(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
