摘要：本发明公开了一种半导体工厂设备的分布式管理系统，包括设备服务端，数据中心服务器以及远程终端。其中，设备服务端与半导体工厂内的各设备进行数据交互；数据中心服务器与设备服务端和远程终端相连，并进行数据交互；远程终端通过所述数据中心服务器获取各设备的数据以及对各设备进行数据管理。本发明能够辅助使用者对半导体工厂设备进行远程托管。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人魏靖南;张立超;钟结实;贾轶群;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410058363.0
- 申请时间2014年02月20日
- 申请公布号CN103763401A
- 申请公布时间2014年04月30日
- 分类号H04L29/08(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
