摘要：本发明公开了一种基于互电容测量原理的梳齿式柱面电容传感器。结构组成由外到内依次为传感器外壳、绝缘基质层和结构相同的四组互电容测量单元。四组互电容测量单元沿绝缘基质层内圆周向等距分布，每组由第一、第二梳齿式电容极板构成。传感器用于高精密轴系转子的径向运动误差测量，作为定子同轴安装于被测转子外。测量时，转子产生的径向跳动将引起对应互电容测量单元总体电容值的改变，通过对电容值测量并进行合理的数学运算，可得到被测转子的径向跳动位移值。本发明采用互电容测量原理，转子只作为被测对象而不含在传感器的结构配置中，简化了传感器的配置形式，更加适合于转子运动误差的动态实时测量，同时对被测转子构成材料无特殊要求。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;杭州电子科技大学;
- 发明人相奎;王文;卢科青;张敏;陈子辰;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 申请号CN201310750794.9
- 申请时间2013年12月30日
- 申请公布号CN103743330B
- 申请公布时间2016年07月20日
- 分类号G01B7/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
