一种高密度、大尺寸、高均匀性钼钛合金靶材的制备方法

　　摘要：本发明公开了一种高密度、大尺寸、高均匀性钼钛合金靶材的制备方法，1）向Mo粉与Ti粉内加溶剂和粘结剂磨制成浆料；2）用喷雾机对浆料喷雾造粒，进口温度为250-300℃，喷头转速为8000-12000rpm，得到Mo-Ti复合粉，压制成尺寸规整的坯料；3）将多个坯料装入包套内，向相邻坯料间内填充入50-250μm的Mo-Ti复合粉形成均匀的复合粉层，复合粉层厚度为0.5-1mm，保证任意一侧包套内壁与相邻坯料外壁间的间隙小于或等于0.5mm；4）将包套焊接、脱气后热等静压处理，处理条件为750-900℃、120-160MPa，保温保压时间为4-6h，去除包套即可。该方法制作的靶材可用作溅射沉积技术的阴极材料。

专利类型发明专利
申请人安泰科技股份有限公司;
发明人刘国辉;颜君毅;姚惠龙;郭颖利;熊宁;王铁军;刘文彬;陈福鸽;林同伟;刘慧渊;
地址100081 北京市海淀区学院南路76号
申请号CN201310744517.7
申请时间2013年12月30日
申请公布号CN103740979A
申请公布时间2014年04月23日
分类号C22C14/00(2006.01)I;C22C27/04(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;B22F1/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;