摘要：本发明涉及一种碰撞反应池，所述碰撞反应池包括两个电极组，每个电极组均包括两对电极，两对电极正交放置，其中每对电极的两个电极相对设置；每个电极组的两对电极之间形成碰撞反应区，每个电极组的相邻两个电极之间施加同频反向RF电压；碰撞反应气体通入第二个电极组。本发明具有质量过滤精度高，简化碰撞反应池工作条件等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人聚光科技(杭州)股份有限公司;
- 发明人梁炎;陈斌;杨凯;刘立鹏;郑毅;韩双来;邱明;徐岳;陈飞华;陈文益;李鹰;
- 地址310052 浙江省杭州市滨江区滨安路760号
- 申请号CN201310756581.7
- 申请时间2013年12月31日
- 申请公布号CN103715056A
- 申请公布时间2014年04月09日
- 分类号H01J49/42(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
