扫描电镜用扫描信号与工频同步的方法、装置和系统

　　摘要：一种扫描电镜用扫描信号与工频同步的方法、装置和系统，其中的装置包括：过零检测单元，用于从交流电压的过零点开始产生同步信号，并将产生的同步信号输出给控制单元；控制单元，从同步信号的上升沿到达时刻开始对信号进行可编程延时产生延时同步信号并控制数模转换单元输出与延时同步信号同步的数字量的扫描信号。利用过零点进行扫描信号和电网工频的同步不会由于电网电压波动而产生相移，从而保证了扫描信号和电网工频的良好同步，输出扫描信号不受电网电压波动的影响。由于控制单元对同步信号进行了编程延时，经过延时后的扫描信号起点能够避开由于电网电压过零而导致电路噪声较大的时刻，扫描信号与电网工频的同步性更好，对电网电压的抗干扰性和对电路噪声的抗干扰性更好。

专利类型发明专利
申请人北京中科科仪股份有限公司;
发明人王大千;韩勇;
地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
申请号CN201310444740.X
申请时间2013年09月26日
申请公布号CN103700563B
申请公布时间2015年11月11日
分类号H01J37/26(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I;