摘要：一种超精扫描镀膜及定位光刻设备，属于高精度自动化刻蚀设备技术领域，其包括减振平台、高精运动平台、化学涂胶或光刻处理盒、冷却设备及空压过滤设备集成体和CNC数控装置。减振平台消除了设备固有的振动频率并隔绝环境的影响；高精运动平台采用大推力直线电机驱动，直线电机的高精连续扫描运动和超精定位运动，为化学涂胶或光刻处理盒的均匀扫描镀膜和超精定位光刻提供支持；CNC数控装置具备数字电流伺服控制功能，实现高精运动平台与化学涂胶或光刻处理盒在同一时钟信号下工作。该设备兼具镀膜和光刻功能，提高了大面积光栅制造的生产效率，降低了光栅制造设备的成本。
- 专利类型发明专利
- 申请人嘉兴华嶺机电设备有限公司;
- 发明人伍鹏;
- 地址314006 浙江省嘉兴市凌公塘路3339号6号楼1楼
- 申请号CN201310697462.9
- 申请时间2013年12月17日
- 申请公布号CN103698984B
- 申请公布时间2017年01月04日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;
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