摘要：本发明公开了一种多层存储台装置，其调平底座包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；其支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，调节板通过一对相向设置的连接侧板与所述支撑脚支撑架固接，支撑脚支撑架在连接侧板的内侧可沿竖直方向相向多层设置；每层支撑脚支撑架的上表面设有若干个支撑脚。本发明可使晶圆得以多层存储，提高机械手的利用率，增加生产产量，具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积的显著特点。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人李广义;王锐廷;赵宏宇;张豹;裴立坤;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410001185.8
- 申请时间2014年01月02日
- 申请公布号CN103693343A
- 申请公布时间2014年04月02日
- 分类号B65G1/02(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
