摘要：本发明公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构驱动转动；连接板安装于滚珠丝杠且与双直线导轨滑动连接，随着滚珠丝杠的转动沿双直线轨道的方向上升或下降；升降臂与连接板固定连接，由连接板的运动带动上升或下降。本发明的石英舟升降装置结构紧凑，受力合理且维护方便。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人林欣家;郝琪;董金卫;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201310628402.1
- 申请时间2013年11月29日
- 申请公布号CN103681421B
- 申请公布时间2016年08月17日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
