摘要：本发明涉及一种半导体热处理设备的温控方法，热处理设备包括炉体和设于炉体中的工艺管，晶圆在工艺管中进行半导体工艺，炉体包括多个温区，每一温区中至少设有一超温热偶和多个控温热偶，超温热偶用于感测温区中的温度，控温热偶用于调节温区中的温度，方法包括如下步骤：a)对超温热偶与控温热偶的报警信号进行加权评分；b)若评分不低于第一阈值，则停止向热处理设备输出电功率。该方法增加了实施停止加热措施时的可信度，还可通过对主、辅控温热偶的调整，有针对性地采用不同的控温模式，更好地保证设备的可靠稳定运行。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张乾;王艾;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201310688368.7
- 申请时间2013年12月16日
- 申请公布号CN103677009A
- 申请公布时间2014年03月26日
- 分类号G05D23/22(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
