一种硅酸盐类荧光粉及其表面包覆氧化物隔膜薄膜的装置和工艺

　　摘要：本发明公开了一种硅酸盐类荧光粉及其表面包覆氧化物隔膜薄膜的装置和工艺，其中，所述装置中设有荧光粉特用沉积室，所述沉积室为单层或多层结构设置，每层沉积室由荧光粉沉积区域（1）和布满沉积区域（1）周围的气道（2）构成，所述气道为原子层沉积的前驱体以及载气的进入和排出的管路。本发明实现了原子层沉积（ALD)技术在荧光粉外围包覆隔膜薄膜层以提高其性能的目的。本发明在ALD技术的基础上发明一种特用荧光粉包覆的沉积室，并进一步改进原子层沉积的工艺以满足荧光粉包覆的要求。

专利类型发明专利
申请人无锡迈纳德微纳技术有限公司;
发明人左雪芹;梅永丰;
地址214028 江苏省无锡市新区长江南路35号空港产业园科技商务中心B栋603室
申请号CN201310528359.1
申请时间2013年10月31日
申请公布号CN103668119B
申请公布时间2016年06月22日
分类号C23C16/455(2006.01)I;C23C16/452(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;B22F1/02(2006.01)I;