摘要：一种半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置及方法，该装置与石英反应管的升降装置配合使用，升降装置包括与反应管相接触的接口法兰；该装置包括平移驱动结构、直线导轨、支撑臂和用于可分离地固定石英反应管辅助支撑结构；在装载过程中，该辅助支撑结构安装在支撑臂上，通过平移驱动结构前端与半导体扩散设备门框通过固定结构对接，以及支撑臂沿直线导轨将石英反应管平移到升降装置接口法兰相对接，平稳完成了石英反应管的装卸过程。因此,本发明可以减少反应管安装的时间和风险，方便设备装配及维护人员的操作。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人林欣家;郝琪;董金卫;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201310628388.5
- 申请时间2013年11月29日
- 申请公布号CN103661527A
- 申请公布时间2014年03月26日
- 分类号B62B3/04(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
