摘要：本发明公开了一种自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜的制备方法，包括下述步骤：S1：对金属镍片衬底进行超声清洗，并烘干后放置于管式炉中；S2：向所述管式炉中通入惰性气体；S3：对所述管式炉进行升温处理使其达到600℃?720℃，向所述管式炉中通入氢气，并对所述金属镍片衬底进行热处理；S4：向所述管式炉中通入碳氢化合物，使得经过热处理后的金属镍片衬底催化碳氢化合物裂解后生长非晶碳薄膜；S5：对所述管式炉进行降温处理，并将生长有非晶碳薄膜的镍片浸泡在腐蚀液中腐蚀掉衬底镍片后获得自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜。采用本发明制备方法对环境温度要求不高，制备得到的非晶碳薄膜具有多孔结构和自支撑结构，可以很方便转移至任何衬底。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人魏合林;朱大明;刘宇昊;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201310624301.7
- 申请时间2013年11月28日
- 申请公布号CN103643217B
- 申请公布时间2016年08月17日
- 分类号C23C16/26(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;
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