摘要:本发明公开了一种LPCVD设备的温控系统自校正方法,包括:对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型;建立包含权重系数的比例,积分,微分控制项的自校正调节项模型,并确定已建立的权重系数取值范围;建立监督控制项,用于加强控制系统的稳定性。同时,本发明也公开了一种LPCVD设备的温控系统自校正装置,包括:控制模型模块,用于建立LPCVD设备各个温控区的包含时滞误差的PID控制模型;权重PID控制模型模块,用于建立包含权重系数的比例,积分,微分控制项模型,并确定已建立的权值系数取值范围;监督模块,用于加强系统的稳定性。通过此种设计,提高了PID控制模型参数设置的准确性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王峰;张乾;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201310504946.7
- 申请时间2013年10月23日
- 申请公布号CN103576672A
- 申请公布时间2014年02月12日
- 分类号G05B23/02(2006.01)I;G05B13/04(2006.01)I;