摘要：本发明公开了一种同步装置、扫描式激光成像系统及同步方法，其中，所述同步装置包括：定位模块、所述定位模块包括平台控制器和定位平台，所述定位平台包括同步轴、步进轴及升降轴；同步模块、所述同步模块接收所述平台控制器输入的位置脉冲信号，并对所述位置脉冲信号加以处理以输出同步信号，所述同步模块还接收所述控制模块的控制命令；以及控制模块、所述控制模块与所述定位模块及所述同步模块相连接，以控制所述同步模块及所述平台控制器。通过采用同步信号触发方式，有效补偿系统的脉冲误差和脉冲残差，提高扫描图像的绝过位置精度，减少图像大小误差。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州微影光电科技有限公司;
- 发明人俞庆平;谢荣先;胡传武;张寅;张国龙;
- 地址215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司
- 申请号CN201310419259.5
- 申请时间2013年09月13日
- 申请公布号CN103472685A
- 申请公布时间2013年12月25日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
