一种抗大气冲击的分子泵

　　摘要：本发明属于流体机械技术领域，尤其涉及用于半导体、节能灯、太阳能制造行业获得真空的一种抗大气冲击的分子泵，本分子泵包括底盘，底盘中部安装有电机，转子扣装在底盘上，泵壳通过螺钉固定扣装在转子与底座上，泵壳顶部设有进气口，底盘侧面靠近底部设有排气口；转子由圆柱形硬质铝合金材料整体加工成型，转子从顶部至底部均匀开有4～8个螺旋形排气槽，转子内部设有一个安装层，其上下两侧为中空腔体，安装层中心位置开有一个锥形通孔；电机主轴延伸到底盘上部的部分插入转子安装层上的锥形通孔内，与锥形通孔紧密配合，本发明具有结构简单，便于维护，能降低生产成本，易于加工，转子强度高，具有抗大气冲击能力等优点。

专利类型发明专利
申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
发明人董欣;郁晋军;刘敏强;于天化;
地址102600 北京市大兴工业开发区前高米店盛坊路北京仪器仪表基地
申请号CN201310426284.6
申请时间2013年09月18日
申请公布号CN103452872A
申请公布时间2013年12月18日
分类号F04D25/06(2006.01)I;F04D29/26(2006.01)I;F04D29/40(2006.01)I;F04D29/063(2006.01)I;