摘要:本发明公开了加热材料制备技术领域的一种硅壳钨芯加热丝及其制备方法。所述加热丝为在钨丝外表面包裹有高纯硅。本发明的制备方法为将钨丝绕制成所需要的形状放入化学气相沉积反应炉中,通过化学气相沉积反应在钨丝表面沉积高纯硅。本发明的加热丝可广泛应用于各类需要加热的真空设备之中,能够长期、稳定、有效地为系统提供热源。
- 专利类型发明专利
- 申请人华北电力大学;
- 发明人陈诺夫;何海洋;辛雅焜;吴强;弭辙;白一鸣;高征;
- 地址102206 北京市昌平区回龙观朱辛庄2号
- 申请号CN201310349665.9
- 申请时间2013年08月12日
- 申请公布号CN103428908B
- 申请公布时间2015年06月24日
- 分类号H05B3/12(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;