摘要：一种角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法，包括光束扫描系统、电子显微系统和控制系统；所述光束扫描系统包括激发光源、整形镜、聚焦镜、振镜和成像镜；所述整形镜位于所述第一真空腔体内部，用于对所述激发光源发射的激发光进行整形，激发光经过整形汇聚后在所述整形镜的焦点a处形成聚焦光斑；所述聚焦镜、所述振镜位于所述第一真空腔体内部，用于将聚焦光斑成像并投射至所述振镜反射镜旋转中心处；所述成像镜位于所述第一真空腔体内部，用于将经过所述振镜的反射光成像到被测样品的表面。本发明提供的角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法能实现快速、精确的角度扫描，重复定位精度高，观测效果好。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;
- 发明人耿俊清;李奇志;张军安;孙占峰;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201310395592.7
- 申请时间2013年09月03日
- 申请公布号CN103426709A
- 申请公布时间2013年12月04日
- 分类号H01J37/26(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;
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