摘要:本发明公开了一种基于光栅导模共振技术的生物芯片及其制备方法,它包括基底层(1),基底层(1)的上表面是钛薄膜层(2),钛薄膜层(2)的上表面是光栅波导层;制备方法包括步骤1、基底层镀膜,在选取的基底层(1)上镀上一层钛薄膜层(2);步骤2、清洗,将镀膜后的基底座清洗干净;步骤3、光栅加工,将步骤2清洗干净的基底座加工成阵列的二氧化钛和空气的周期性光栅;步骤4、将步骤3加工好光栅的基底座清洗干净;步骤5、将步骤4加工好光栅的基底座用化学方法镀上低折射率有机物介质;解决了现有技术的生物芯片存在的体积大、成本高、构造复杂,不利用商业化普及或体积虽小、价格便宜,但是存在温度补偿缺点等问题。
- 专利类型发明专利
- 申请人贵州大学;
- 发明人白忠臣;肖伟;秦水介;张正平;
- 地址550025 贵州省贵阳市贵州大学花溪北校区科技处
- 申请号CN201310333429.8
- 申请时间2013年08月02日
- 申请公布号CN103424376B
- 申请公布时间2016年02月17日
- 分类号G01N21/41(2006.01)I;G01N33/577(2006.01)I;