摘要:本发明公开了一种涡轮分子泵,其包括泵体、主轴、涡轮转子、电机以及静涡轮级,其中,电机包括电机定子和电机转子,电机转子和电机定子为中部具有通孔的盘形结构,电机转子和电机定子通过各自通孔先后套设在主轴上,电机转子与电机定子盘面相对,且电机定子固定不动,电机转子固定设置在主轴与涡轮转子的连接处,以使电机定子与电机转子形成的旋转动力源位于或者接近主轴与涡轮转子形成的轴系转子的质心处,从而使得本发明的涡轮分子泵运转时动不平衡降低,振动较小,提高了涡轮分子泵的运行可靠性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;
- 发明人李兵;李奇志;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201310349243.1
- 申请时间2013年08月12日
- 申请公布号CN103398013B
- 申请公布时间2016年08月24日
- 分类号F04D25/06(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;F04D29/26(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I;F04D29/40(2006.01)I;H02K7/14(2006.01)I;