摘要：本发明公开了一种增加低温泵抽速的方法，采用热喷涂方法在低温泵的障板表面生长一层粗糙的氧化铝薄膜。本发明在不改变障板结构、尺寸的前提下，增加了比表面积，能有效提高低温泵的抽速。
- 专利类型发明专利
- 申请人安徽万瑞冷电科技有限公司;北京航天长征飞行器研究所;
- 发明人许令顺;武义锋;徐中堂;仰叶;周家屹;刘得成;南华;李革;陈福泰;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区海棠路189号
- 申请号CN201310299016.2
- 申请时间2013年07月17日
- 申请公布号CN103397999B
- 申请公布时间2016年03月16日
- 分类号F04B37/08(2006.01)I;C23C4/11(2016.01)I;
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京公网安备11010802043465号
