摘要：本发明提供了一种微型的桥式结构及其制备方法，包括四个悬臂梁，金属桥面，四个金属桥墩和衬底；每一个悬臂梁均为L型结构，悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与金属桥面连接；金属桥面与悬臂梁位于同一个平面，四个悬臂梁将金属桥面悬挂于衬底上，并在金属桥面的下底面与衬底之间形成空腔结构。方法包括在洁净的衬底表面制备金属桥墩；在形成有金属桥墩的衬底表面涂覆牺牲层；对牺牲层进行光刻处理后将金属桥墩顶部的牺牲层去除并露出金属桥墩的顶部；对牺牲层进行固化处理；在固化后的牺牲层上制备金属桥面；去除金属桥面底部的牺牲层形成空腔，搭建桥式结构。本发明提供的桥式结构，可调谐范围大，桥面平行度好。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;广西师范学院;中国科学院深圳先进技术研究院;
- 发明人蒙庆华;陈四海;赖建军;黄光;吕超鸿;黄鹰;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201310215152.9
- 申请时间2013年05月31日
- 申请公布号CN103345057B
- 申请公布时间2016年06月01日
- 分类号G02B26/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
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