摘要：本发明公开了一种新的表面等离子体透镜的批量化制备方法，属于微/纳光子器件领域。该方法首先在基底旋涂纳米球排列形成的单层自组装结构；对纳米球的直径进行调整后，淀积第一层金属薄膜，去除基底上的纳米球及金属薄膜后，得到完全由纳米孔组成的结构阵列；旋涂光刻胶并图形化得到圆形凸台，以此定义透镜孔径以及透镜阵列的排布形式；淀积第二层金属薄膜；去除光刻胶及金属薄膜，得到最终的表面等离子体透镜。本方法采用基于旋涂法的纳米球光刻技术，具备圆片级的加工能力，可与标准的微/纳加工工艺集成，极大提高工艺效率、缩减工艺成本；同时，组成透镜的纳米孔尺寸可通过调整纳米球直径来控制，进而对器件的透过率实现调制。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人虞益挺;苑伟政;
- 地址710072 陕西省西安市友谊西路１２７号
- 申请号CN201310285392.6
- 申请时间2013年07月08日
- 申请公布号CN103345009B
- 申请公布时间2015年04月22日
- 分类号G02B3/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
