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    一种显微角分辨光谱测量装置

      摘要:本发明涉及一种显微角分辨光谱测量装置,利用傅立叶变换器件,至少包括一个带有照明系统的显微镜、一根光纤,一个精密平移针孔和一个光谱仪,角分辨光谱测量由下述部件实现:将所述的显微镜的物镜当作一种傅里叶变换器件,形成光的角度和焦平面上空间位置的对应关系,光谱仪通过光纤连接至物镜焦平面上的针孔处,通过移动针孔的位置,获得不同角度的光谱信息;采用共焦照明系统对样品进行照明,或者,在图像平面上利用图像针孔进行空间滤波,或者,采用共焦照明系统和在图像平面上利用图像针孔进行空间滤波,获得样品上微米或纳米尺度区域的光谱信息。本发明可应用于微纳光学领域如光子晶体、薄膜材料、LED等的显微角分辨光谱检测。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人上海复享仪器设备有限公司;
    • 发明人许春;殷海玮;章炜毅;
    • 地址200433 上海市杨浦区国定东路200号3号楼302-1
    • 申请号CN201310114735.2
    • 申请时间2013年04月03日
    • 申请公布号CN103234633A
    • 申请公布时间2013年08月07日
    • 分类号G01J3/28(2006.01)I;