摘要：本发明提出了一种精密定位一维平台，包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台，所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器，所述定位平台与所述压电驱动器连接。本发明在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时，通过压电驱动器补偿音圈电机的误差，同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动，最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。
- 专利类型发明专利
- 申请人东莞华中科技大学制造工程研究院;
- 发明人张璐凡;隆志力;方记文;念龙生;李泽湘;
- 地址523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号
- 申请号CN201310068434.0
- 申请时间2013年03月04日
- 申请公布号CN103219049B
- 申请公布时间2015年04月29日
- 分类号G12B5/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
