摘要：一种晶圆预对准装置，包括基板、设置于基板上的第一支撑装置、用于驱动第一支撑装置相对基板旋转的第一驱动装置、部分设置于基板下方的第二支撑装置、用于驱动第二支撑装置相对基板上下移动的第二驱动装置。第一支撑装置包括多个用于支撑晶圆的第一支撑臂，第二支撑装置包括多个用于支撑晶圆的第二支撑臂，预对准时，第一支撑装置的旋转和第二支撑装置的上下运动实现晶圆的交接，交接过程中实现晶圆位置的调整。第一支撑装置的旋转和第二支撑装置的上下运动过程中，多个第一支撑臂或多个第二支撑臂同时动作，使晶圆受力均匀，不会出现无法支撑晶圆的后果，实现晶圆稳定交接以完成预对准。该晶圆预对准装置的稳定性较好，可以大大提高预对准效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人边弘晔;张鹏;陈守良;曲道奎;徐方;李学威;温燕修;邹风山;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210002091.3
- 申请时间2012年01月05日
- 申请公布号CN103199050B
- 申请公布时间2015年05月13日
- 分类号H01L21/687(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;
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