摘要：一种晶圆预对准控制方法，包括以下步骤：提供了一负压吸附旋转装置，用以将托盘和晶圆之间的空气抽出形成真空状态，并带动晶圆转动；传感器；一用以采集晶圆边缘数据，并记录旋转装置的转速信息；该方法还包括有晶圆定位及晶圆缺口定位，所述晶圆定位包括以下步骤：数据采集、数据预处理、圆拟合找到所述晶圆的圆心位置；所述晶圆缺口定位包括以下步骤：缺口粗定位、缺口拟合、迭代终止、缺口边缘中心找到中心的坐标，并调整晶圆的位置和角度。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人徐方;曲道奎;贾凯;邹风山;宋吉来;刘晓帆;李邦宇;李崇;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210002328.8
- 申请时间2012年01月05日
- 申请公布号CN103199048A
- 申请公布时间2013年07月10日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;
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