摘要：一种晶圆中心预对准方法，包括以下步骤：提供一旋转台电机，用以支撑旋转一晶圆；光学探测器，用以采集晶圆边缘数据和获取相对应的旋转台电机的码盘值；数据采样、数据转换、获取当前电机码盘值、直角坐标拟合、三点确定一个圆；通过多次进行三点拟合圆求均值而得到当前晶圆圆心位置。本发明晶圆中心预对准方法中，通过三点拟合方法求晶圆的中心的位置，该方法不受单个采样数据误差的影响，且数据的采样很方便，并能充分的利用采样数据，简单而高效的计算出晶圆的中心。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人陈守良;郭海冰;邹风山;李崇;刘晓帆;董状;宋吉来;甘戈;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210002309.5
- 申请时间2012年01月05日
- 申请公布号CN103199047B
- 申请公布时间2015年08月19日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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