摘要：一种晶圆缺口边缘中心预对准方法，包括以下步骤：提供一旋转台电机，用以支撑旋转一晶圆；一传感器，用以采集晶圆边缘数据和获取相对应的旋转台电机的码盘值；该方法还包括：数据采样、数据转换、数据初处理、初处理数据归一化、归一化数据处理、缺口范围确定，根据范围内数据找出最低点，便为晶圆缺口边缘中心位置。本发明提供的方法简便高效。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人徐方;曲道奎;邹风山;贾凯;陈守良;李学威;宋吉来;褚明杰;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210002247.8
- 申请时间2012年01月05日
- 申请公布号CN103199046B
- 申请公布时间2015年09月09日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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