摘要：本发明提供了一种集成调度系统的EFEM及其调度方法，通过把工艺处理工作站(Cluster?tools)中起调度作用的工控机与EFEM的控制器结合，即EFEM的控制器由集成调度的EFEM工控机取代，使得EFEM具有良好的二次开发性，在运行系统时可以根据具体需求对大气机械手、Load?Port组、预对准模块等模块进行示教、信号配置、工艺过程处理。同时将大气机械手、Load?Port组、预对准模块这些模块的底层驱动嵌入到EFEM中，所以无需再进行设置开发即可实现调度控制。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人曲道奎;徐方;贾凯;褚明杰;刘一恒;刘世昌;沈德峰;陈廷辉;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210003784.4
- 申请时间2012年01月06日
- 申请公布号CN103199036A
- 申请公布时间2013年07月10日
- 分类号H01L21/67(2006.01)I;G05B19/418(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
