摘要：一种预对准机的标定方法，一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤：机械手将晶圆放置在预对准机上，晶圆的圆心处于预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点；预对准机识别第一位置点在第一坐标系中的坐标；机械手驱使晶圆沿机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一距离，晶圆的圆心到达一第二位置点；预对准机识别出第二位置点在第一坐标系中的坐标；计算第一位置点与第二位置点的连线与第一坐标系的横轴之间的夹角，即为第一坐标系与第二坐标系的相对方向；所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人曲道奎;徐方;张鹏;温燕修;李学威;孙义田;郑鋆;王鲁非;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210002104.7
- 申请时间2012年01月05日
- 申请公布号CN103199022B
- 申请公布时间2015年05月13日
- 分类号H01L21/50(2006.01)I;G01B21/00(2006.01)I;
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