摘要：本发明公开了一种锆钛酸铅厚膜的制备方法，用于在钛片上生成锆钛酸铅厚膜，该方法具体包括：在高压釜内胆中配置前驱溶液；将钛片垂直浸入前驱溶液中，并将高压釜放入磁力搅拌器中进行磁力搅拌；最后，取出钛片，即可实现在钛片上反应生成锆钛酸铅（PZT）厚膜。本发明还公开了一种利用上述方法制备的锆钛酸铅厚膜。本发明的制备过程在液相中一次完成，不需要后期热处理，避免了温度过高导致基板与厚膜之间成分互扩散，而且膜的厚度可以通过重复结晶过程的次数来控制，简单可行，另外所制备的膜不受衬底的尺寸和形状控制，PZT厚膜可以制备在三维结构的表面，而且制备的PZT厚膜表面均匀，成分在准同型相界附近。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人朱本鹏;许炯;郭万克;张悦;陈实;杨晓非;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201310075338.9
- 申请时间2013年03月11日
- 申请公布号CN103193482B
- 申请公布时间2015年09月09日
- 分类号B32B7/02(2006.01)I;C04B35/491(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;
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