摘要：一种透光夹持式预对准机，所述透光夹持式预对准机包括一机座、一装设在所述机座上的卡爪以及一检测所述晶圆上的缺口的传感器，所述卡爪包括至少两个卡爪接触单元、至少两个卡爪臂以及至少两个与所述卡爪接触单元和所述卡爪臂相连接的连接部，所述卡爪接触单元夹持所述晶圆，所述卡爪臂支撑所述晶圆，所述连接部是透光材料制成，所述传感器包括一光线发射端以及一光线接收端，所述光线发射端发射光线以检测所述缺口位置，在所述连接部夹在所述光线发射端、所述光线接收端中间，所述缺口位于所述连接部上方时，所述传感器检测出所述缺口所在的位置。相对现有技术，本发明能够避免预对准机卡爪遮挡晶圆缺口及传感器光线带来的重新夹持晶圆的问题。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人张鹏;李学威;曲道奎;徐方;孙义田;温燕修;何书龙;何伟全;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210002296.1
- 申请时间2012年01月05日
- 申请公布号CN103192463A
- 申请公布时间2013年07月10日
- 分类号B28D7/04(2006.01)I;
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