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    用于电子显微镜的对中装置

      摘要:本发明是一种用于电子显微镜的对中装置,包括与电子显微镜的发射源部件固定连接的第一连接座、与镜筒部件连接的第二连接座和将第一连接座和第二连接座紧固连接的连接结构,第一连接座和第二连接座分别成型有与第一通孔同心设置的第一圆弧槽和与第二通孔同心设置的第二圆弧槽,两圆弧槽的内外圆弧的几何中心线正对;在第一圆弧槽与第二圆弧槽之间设有不易变形且绝缘的支承件,支承件包括用于嵌入第一圆弧槽的第一弧面和用于嵌入第二圆弧槽的第二弧面,两弧面对应的弦长不小于对应圆弧槽的槽宽。本发明提供一种通过在上下连接座端面成型圆弧槽以代替现有技术中成型圆孔的方式来达到电子显微镜所要求的对中精度的对中装置。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人北京中科科仪股份有限公司;
    • 发明人刘亚琪;
    • 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
    • 申请号CN201310053563.2
    • 申请时间2013年02月19日
    • 申请公布号CN103177922B
    • 申请公布时间2015年12月02日
    • 分类号H01J37/26(2006.01)I;