摘要：本发明公开了一种间隙物的散布方法及装置，其方法为：将喷出前在管道内带上同种电荷的Spacer，按照预设速度依次从喷口喷出。在当前喷出的间隙物，即当前Spacer从喷出口喷出时，利用偏转线圈构成的均匀电场的强度改变当前Spacer的运动轨迹，使当前Spacer在电场力的作用下产生偏转后散布于接受基板上。通过上述本发明所公开的该种方案不仅能够消除Spacer散布时是无规律的散布所带来的问题，而且通过使用电场控制Spacer进行有序散布，实现了减少开发时间、降低制作成本和提高生产效率的目的。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海中航光电子有限公司;
- 发明人叶舟;
- 地址201108 上海市闵行区华宁路3388号
- 申请号CN201110436805.7
- 申请时间2011年12月22日
- 申请公布号CN103176312B
- 申请公布时间2015年11月25日
- 分类号G02F1/1339(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
