摘要：本发明公开了一种光声光谱法检测硫酰氟气体残留浓度的方法。采用非干涉热辐射源，通过斩波器切光和滤光片滤光，得到强度可调制的单色光；可调制光谱照射在密封的光声池内的微量硫酰氟气体上，硫酰氟气体分子吸收电磁辐射后受激，跃迁到更高一层的激发态，并通过伸缩振动和变形振动回到基态；震动引起气体温度的升高，并释放热能，释放的热能使硫酰氟分子按光的调制频率产生周期性加热，从而产生周期性压力波动；压力波动采用振动敏感度小于<1dB的硅微微音器探测，并通过转换电路放大信号得到光声信号，光声信号由外围电路转换成电信号，再由外围电路内的锁相放大器放大电信号后送入数据采集电路，最后计算完成硫酰氟残留浓度。
- 专利类型发明专利
- 申请人江苏舒茨测控设备有限公司;
- 发明人陈默;安德里亚斯·何斯特;李茂;
- 地址215513 江苏省苏州市常熟经济技术开发区四海路11号科创园5号楼507
- 申请号CN201310041226.1
- 申请时间2013年02月03日
- 申请公布号CN103163087A
- 申请公布时间2013年06月19日
- 分类号G01N21/27(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
